廈門風淋室廠家：各行各業(yè)對無塵車間潔凈度等級的要求
時間：2019-03-11 19:38:55
廈門風淋室廠家：各行各業(yè)對無塵車間潔凈度等級的要求現(xiàn)今，無塵車間潔凈技術已廣泛應用于各行各業(yè)的產(chǎn)品生產(chǎn)或其他要求防止粒子污染、微生物污染的環(huán)境控制，由于各行各業(yè)的產(chǎn)品特性不同、各種產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝不相同，使用要求不同，因此要求控制環(huán)境的內(nèi)容、指標均不會相同。所謂無塵車間的環(huán)境控制的內(nèi)容應該包括：空氣凈化、潔凈建筑、與產(chǎn)品直接接觸的水或氣體或化學品和生產(chǎn)設備、工器具等的污染物控制以及微振動、噪聲、靜電的控制、防止等。所以無塵車間的設計不僅要求對室內(nèi)的空氣進行凈化達到規(guī)定的空氣潔凈度等級，還必須防止因無塵車間的建造用材料、裝飾方式不當帶來的污染，有的無塵車間還要求供給超純水、超純氣體和高純的化學品等。
1、半導體集成電路要求的空氣潔凈度等級
集成電路生產(chǎn)環(huán)境要求的空氣潔凈度等級主要取決于集成電路的集成度，不同工序的空氣潔凈度等級是依據(jù)可能污染的概率和對器件的潛在故障確定的。
舉例說明：
例一、某廠集成電路前工序潔凈廠房，無塵車間設計按加工、生產(chǎn)6英寸硅片、1M集成電路，圖形特形尺雨1.0um，控制粒子粒徑0..1um.
無塵車間空氣潔凈度等級要求：
| 光刻、勻膠區(qū) | ISO 3級 |
| 離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等操作區(qū) | ISO 3級 |
| 離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等維修區(qū) | ISO 5級 |
例二、某廠集成電路前工序潔凈廠房，無塵車間設計按加工、生產(chǎn)5英寸硅片、256K集成電路、圖形特形尺雨2.0um，控制粒子粒徑0.2um.
無塵車間空氣潔凈度等級要求：
| 光刻、勻膠區(qū) | ISO 3級 |
| 離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等操作區(qū) | ISO 4級 |
| 離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等維修區(qū) | ISO 6級 |
2、一些電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級
隨著信息產(chǎn)業(yè)技術的發(fā)展，許多電子產(chǎn)品性能、質(zhì)量的提高和生產(chǎn)過程的微細化，日益要求生產(chǎn)環(huán)境具有一定的空氣潔凈度等級和控制無塵車間內(nèi)工藝生產(chǎn)所需的各類高純物質(zhì)的供給質(zhì)量，目前國內(nèi)外還沒有統(tǒng)一電子產(chǎn)品的空氣潔凈度等級或生產(chǎn)環(huán)境控制要求的統(tǒng)一規(guī)定，各種電子產(chǎn)品的生產(chǎn)廠家依據(jù)其生產(chǎn)的產(chǎn)品品種、所采用的生產(chǎn)工藝技術、生產(chǎn)工藝設備、生產(chǎn)用原輔料以及無塵車間運行的實踐經(jīng)驗確定設計建造無塵車間的空氣潔凈度等級。
舉例說明：
例一、薄膜晶體管彩色液晶顯示器生產(chǎn)用無塵車間，TFT-LCD具有體積小、質(zhì)量輕、易攜帶、耗電低、色彩逼真、大容量、高分辨示等優(yōu)點。
各無塵車間空氣潔凈度等級，控制粒子粒徑為0.3um
| 清洗、涂膠、曝光間 | ISO 4級 |
| 顯影、刻蝕間 | ISO 5級 |
| 成盒間 | ISO 5級 |
| 濺射、CVD間 | ISO 6級 |
例二、某高密度磁帶生產(chǎn)用潔凈廠房、無塵車間控制微粒粒徑0.5um
各無塵車間的空氣潔凈度等級要求
| 涂布頭 | ISO 5級 |
| 備件、切帶、帶基、測試、涂布間和烘干、固化間 | ISO 6級 |
| 組裝、維修間和部分原料庫 | ISO 7級 |
| 砂磨、化驗間和配件間 | ISO 8級 |
成品庫和部分原料庫準潔凈間
3、精密機械、精細化工等產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級
例一、一個陀螺儀生產(chǎn)用無塵車間
無塵車間空氣潔凈度等級要求
| 裝配間 | ISO 6級 |
| 軸承加工間 | ISO 5級 |
例二、一個感光膠片生產(chǎn)用無塵車間
| 流延機頭部，涂布機頭部 | ISO 5級 |
| 涂布室，流延機室 | ISO 5級 |
